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關鍵詞：
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序號
代碼
股票名稱
說明
1
SZ300346
南大光電
三甲基鎵、三甲基銦、三乙基鎵、三甲基鋁、二異丙胺硅烷（DIPAS）、雙（二乙氨基）硅烷（BDEAS）、四（二甲氨基）鈦（TDMAT）、六氯乙硅烷（HCDS）、正硅酸乙酯（
TEOS
）、三甲硅烷基胺（TSA）、高純磷烷、高純砷烷、安全源磷烷、安全源砷烷、安全源三氟化硼、混氣產品、三氟化氮、六氟化硫、ArF光刻膠（干式及浸沒式）、光刻膠配套稀釋劑
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