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序號
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代碼
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股票名稱
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說明
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| 1 | SH603396 | 金辰股份 | 高效光伏組件自動化生產線、層壓機、自動粘膠帶機、接線盒焊接機、多功能匯流條焊接機、組件EL外觀檢查一體機、電池串自動敷設機、自動打膠組框組角一體機、激光劃片機、玻璃上料機械手、EVA/TPT自動裁切機、疊瓦機、自動灌膠機、EVA刮平機、自動削邊機、自動裝紙護角機、自動包裝線、HJT高效光伏電池PECVD非晶硅薄膜設備、PVD、TOPCON高效光伏電池管式PECVD、硼擴散設備、光伏電池電注入機、光伏電池PL、膜色分選一體機、電池片上下料機 |
| 2 | SH688072 | 拓荊科技-U | PECVD、UVCure、PE-ALD、Thermal-ALD、SACVD、HDPCVD、晶圓對晶圓鍵合產品、芯片對晶圓鍵合表面預處理產品 |
| 3 | SH688082 | 盛美上海 | 清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備、無應力拋光設備、后道先進封裝工藝設備、硅材料襯底制造工藝設備 |
| 4 | SH688147 | 微導納米 | iTomic系列原子層沉積鍍膜系統、iTomic MW系列批量式原子層沉積鍍膜系統、iTomic Lite系列輕型原子層沉積鍍膜系統、iTomic PE系列等離子體增強原子層沉積鍍膜系統、iTronix系列化學氣相沉積鍍膜系統、Trancendor系列晶圓真空傳輸系統、夸父（KF）系列批量式ALD系統、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系統、羲和（XH）系列高溫低壓系統、祝融（ZR）管式PECVD系統、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系統、羲和（XH）高溫低壓系統、后羿（HY）系列板式ALD系統、iSparol系列 卷對卷ALD系統 |
| 5 | SH688726 | 拉普拉斯 | 低壓水平硼擴散設備、低壓水平磷擴散設備、低壓水平氧化/退火設備、低壓水平化學氣相沉積鍍膜設備（LPCVD）、等離子增強化學氣相沉積鍍膜設備（PECVD）、擴散/LPCVD/PECVD自動上下料設備、SiC基半導體器件用超高溫氧化爐、SiC基半導體器件用超高溫退火爐、半導體器件用LPCVD、真空釬焊爐、熱場、涂層石英管 |
| 6 | SZ300450 | 先導智能 | 全自動卷繞機、隔膜分切機、極片分切機、焊接卷繞一體機、18650/21700卷繞機、疊片機、涂布機、組裝線、EV真空干燥爐、EV注液機、激光摸切機、智能物流線、化成柜及分容柜系統、鋰電池設備整線解決方案、自動化制絨/刻蝕清洗上/下料機、自動化擴散上/下料機、自動化管式PECVD上/下料機、電池片自動串焊機、組件自動流水線、光伏電池整線解決方案、消費類電子總裝、OLED顯示屏檢測、3D玻璃檢測、柔性線路板檢測以及其他高精度組裝行業提供3D視覺測量、智能檢測、精密組裝等設備、整線自動化集成解決方案、自動卷繞機、高速分切機、噴金機、老化機 |